平面面板显示器用玻璃基板及其制造方法

摘要

本发明的平面面板显示器用玻璃基板由下述玻璃形成，且热收缩率为75ppm以下；以摩尔%表示，上述玻璃含有：55～80%的SiO₂、3～20%的Al₂O₃、3～15%的B₂O₃、及3～25%的RO(MgO、CaO、SrO及BaO的合计量)，实质上不含As₂O₃及Sb₂O₃，且失透温度为1250℃以下。其中，上述所谓热收缩率是指：使用实施升降温速度为10℃/分、于550℃下保持2小时的热处理后的玻璃基板的收缩量，利用下式求出的值。热收缩率(ppm)={热处理后的玻璃基板的收缩量/热处理前的玻璃基板的长度}×10⁶。

主权项

一种形成p‑Si‑TFT的平面面板显示器用玻璃基板，其由下述玻璃构成，且热收缩率为75ppm以下；以摩尔％表示，上述玻璃含有：55～80％的SiO₂、3～20％的Al₂O₃、3～15％的B₂O₃、及3～25％的RO，0～不足3％的SrO，其中，CaO/B₂O₃为0.9以上，所述玻璃实质上不含As₂O₃及Sb₂O₃，且失透温度为1250℃以下，应变点为680℃以上；RO为MgO、CaO、SrO、BaO的合计量；其中，上述所谓热收缩率是指：使用实施升降温速度为10℃/分、于550℃保持2小时的热处理后的玻璃基板的收缩量，利用下式求出的值，热收缩率(ppm)＝{热处理后的玻璃基板的收缩量/热处理前的玻璃基板的长度}×10⁶。