| 摘要 |
압전체의 두께 편차 여부에 관계없이, 주파수 특성의 편차가 생기기 어렵고 전기기계 결합계수(k)를 높일 수 있는 탄성파 장치를 제공한다. 지지 기판(2) 위에 매질층(3), 압전체(4) 및 IDT 전극(5)이 적층되어 있고, 상기 매질층(3)이 압전체를 전파하고, 이용하는 탄성파의 전파속도보다, 상기 탄성파의 주요 진동 성분과 동일한 벌크파의 전파속도가 낮은 저속 매질과, 상기 탄성파의 주요 진동 성분과 동일한 벌크파의 전파속도가 상기 탄성파의 전파속도보다 높은 고속 매질을 포함하는 매질로 이루어지는 탄성파 장치(1). |
