一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置

摘要

本实用新型提供一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，涉及一种石墨烯的制备装置技术领域。该实用新型包括机架、微波源、耦合腔、真空室、感应线圈和工件架，微波源位于机架的上方，耦合腔设置在微波源的左侧，耦合腔的底端设置有真空室，真空室设置在机架上，真空室内设置有工件架，工件架的周围缠绕有感应线圈。本实用新型在化学气相沉积过程中，通过感应线圈加热工件，并使用微波产生等离子体，通过热能与离子轰击能量的共同作用，使反应气体产生化学反应，制备石墨烯材料。

主权项

一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，其特征在于，包括机架、微波源、耦合腔、真空室、感应线圈和工件架，所述微波源位于所述机架的上方，所述耦合腔设置在所述微波源的左侧，所述耦合腔的底端设置有所述真空室，所述真空室设置在所述机架上，所述真空室内设置有工件架，所述工件架的周围缠绕有所述感应线圈。