微光刻的投射曝光设备使用的分面镜

摘要

本发明提供一种在微光刻的投射曝光设备（1）中用作光学元件的分面镜（13，14；47；64；67，70），-包括多个分立镜（21；69），对于入射照明光（10）的单独偏转，在每种情况下所述多个分立镜被连接到至少一个驱动器（24），-使得所述多个分立镜通过分离的驱动能够关于至少一个倾斜轴（x，y）倾斜，连接到所述驱动器（24）的控制装置（28），被配置使得允许将分立镜（21；69）分组为给定的分立镜组（19；31；32，33；34至37；38至45；46；48；50；60；61），所述分立镜组在每种情况下设置至少两个分立镜，所述控制装置（28）被配置，使得一个分立镜组的各个分立镜的驱动能够分别地不同于所述分立镜组的剩余分立镜的驱动。

主权项

微光刻的投射曝光设备(1)使用的照明光学部件(4)，包括至少一个分面镜，‑其中所述至少一个分面镜包括：‑多个分立镜(21；69)，‑对于入射照明光(10)的单独偏转，在每种情况下所述多个分立镜被连接到至少一个驱动器(24)，使得所述多个分立镜通过分离的驱动能够关于至少一个倾斜轴(x，y)倾斜，‑连接到所述驱动器(24)的控制装置(28)，被配置使得允许将分立镜(21；69)分组为给定的分立镜组(19；31；32，33；34至37；38至45；46；48；50；60；61)，所述分立镜组在每种情况下设置至少两个分立镜，‑所述控制装置(28)被配置，使得一个分立镜组的各个分立镜的驱动能够分别地不同于所述分立镜组的剩余分立镜的驱动，‑其中所述分立镜组(74，75)被分配给分立镜照明通道，所述分立镜照明通道照明物场(5)中的相邻物场部分(73；76)，并组合以形成整个物场，‑其中所述分面镜(13、14；47；64；67、70)布置在所述照明光学部件(4)的场平面内。