用于制备有机发光显示面板的装置和使用其制备有机发光显示面板的方法

摘要

公开了一种用于制备有机发光显示面板的装置。在一个实施方式中，该装置包括i)第一辊、ii)第二辊、iii）多个腔和iv）闸单元，膜卷绕在第一辊上以被连续地拉拽，第二辊设置为面对第一辊且膜连续地卷绕在第二辊上，多个腔设置在第一和第二辊之间并且膜通过多个腔，在多个腔中，通过在膜上形成转移层，在衬底上进行激光热转印（LITI），闸单元安装在至少一个腔处且设置在所安装的腔的膜入口和膜出口的至少一个处，以在膜通过期间，在腔中保持基本为真空的状态。

主权项

一种用于制备有机发光显示面板的装置，包括：第一辊，膜卷绕在所述第一辊上，从而被连续地拉拽；第二辊，设置为面向所述第一辊，并且所述膜连续地卷绕在所述第二辊上；多个腔，设置在所述第一辊和第二辊之间，所述膜通过所述多个腔，并且基于在所述膜上形成的转移层，在所述多个腔中在衬底上进行激光热转印；以及闸单元，安装在所述多个腔的至少一个中，并且设置在所安装的腔的膜入口和膜出口的至少一个处，以在所述膜通过时，保持所述腔中的基本真空状态，其中，所述多个腔包括第一腔，所述第一腔配置为接收由所述第一辊释放的所述膜，其中所述第一腔包括沉积单元，所述沉积单元配置为在所述膜的第一表面上形成所述转移层，并且其中所述第一腔配置为输出其上形成有所述转移层的所述膜，其中，所述多个腔包括第二腔，所述第二腔设置为邻近于所述第一腔，并且所述第二腔配置为接收从所述第一腔输出的所述膜，其中所述第二腔包括组合单元，所述组合单元配置为使所述膜和所述衬底彼此紧密接触，以使所述膜的所述转移层面向所述衬底，并且其中所述第二腔进一步配置为输出所述膜和衬底，其中，所述组合单元包括i)衬底输入设备和ii)多个上部和下部组合辊，所述衬底输入设备配置为使输入到所述第二腔中的所述衬底接触所述膜，所述多个上部和下部组合辊分别从上侧和下侧支撑所述膜和衬底；并且其中，所述上部和下部组合辊中的至少一个具有凹进的中央部分。