一种喷淋板及包含该喷淋板的等离子箱

摘要

本发明公开了一种喷淋板和包含该喷淋板的等离子箱，喷淋板的主体为不锈钢板，不锈钢板的下板面上开设有凹槽，凹槽包括交替设置的激发电极凹槽和接地电极凹槽；不锈钢板上设有位于凹槽两侧且贯穿不锈钢板上、下板面的通孔。该等离子箱包括喷淋板，盖板以及交替布置的N个激发电极和N+1个接地电极，N为整数；最外侧的两个接地电极作为等离子箱的侧板，各相邻的电极之间形成放电区；激发电极和接地电极的顶部、底部分别设有一公共的喷淋板；位于顶部的喷淋板顶端设有一底部开口的中空状盖板，并与盖板组成半封闭式腔体，盖板上设有进气口。该喷淋板能改善大面积等离子箱放电区中工作气体压力分布的均匀性，进而提高沉积薄膜厚度的均匀性。

主权项

一种喷淋板，其特征在于：该喷淋板的主体为不锈钢板，所述不锈钢板的下板面上开设有凹槽，所述凹槽包括交替设置的激发电极凹槽和接地电极凹槽；所述不锈钢板上设有位于凹槽两侧且贯穿不锈钢板上、下板面的通孔；所述凹槽的深度为不锈钢板厚度的1/3—2/3，所述激发电极凹槽的宽度与激发电极的厚度相适应，所述接地电极凹槽的宽度与接地电极的厚度相适应；所述通孔包括由上至下同轴设置的外孔、中孔和内孔；所述外孔和中孔的纵截面为矩形，且中孔的孔径小于外孔的孔径；所述内孔的纵截面为梯形且内孔的顶端孔径与中孔的孔径相等。