化学机械抛光垫、抛光层分析器和方法

摘要

提供一种化学机械抛光垫、抛光层分析器，其中所述分析器经配置以检测聚合薄片的宏观不均匀性并且将所述聚合薄片分类成可接受或待检。

主权项

一种化学机械抛光垫、抛光层分析器，其包含：用于固持多个聚合薄片的暗匣，其中各聚合薄片(i)包含：聚合物微量元素复合物，其包含：聚合物和多种微量元素，其中所述多种微量元素分散于所述聚合物中；以及(ii)在透射表面与冲击表面之间具有厚度Ts；其中所述透射表面和所述冲击表面实质上平行；定序器；光源，其中所述光源发射的光束具有展示460到490nm发射峰波长和半幅全宽FWHM≤50nm的发光光谱；光检测器；耦接到所述光检测器的数字图像数据采集装置；以及耦接到所述数字图像数据采集装置的图像数据处理单元；其中所述定序器经配置以使用一次一个聚合薄片的方式从所述暗匣获取所述多个聚合薄片并且将其输送到插入在所述光源和所述光检测器之间的位置；其中所述光源发射的所述光束经定向以冲击到所述冲击表面上；以及其中所述光检测器经定向以检测来自所述光束的透射光，所述透射光传播通过所述厚度Ts并且从所述透射表面传出；其中所述光检测器经配置以将所述透射光的强度转化成电信号；其中耦接到所述光检测器的所述数字图像数据采集装置经配置以将来自所述光检测器的所述电信号转化成数字信号；其中耦接到所述数字图像数据采集装置的所述图像数据处理单元经配置以处理来自所述数字图像数据采集装置的所述数字信号来检测宏观不均匀性以及将聚合薄片分类成可接受用作化学机械抛光垫中的抛光层或分类成待检；其中所述多个聚合薄片分成可接受薄片的群体和待检薄片的群体。