一种多功能霍尔槽系统

摘要

本发明公开了一种多功能霍尔槽系统，该系统包括调节槽、霍尔槽和电沉积槽。所述的电沉积槽设有阴极装夹单元，所述的阴极装夹单元包括设有直槽的装夹杆、定位板、固定件，所述的直槽的轴线平行于阴极壁，所述的调节槽、霍尔槽和电沉积槽共用一个底板，所述的霍尔槽与电沉积槽共用阴极壁，所述的霍尔槽与调节槽共用短侧壁，所述的电沉积槽与调节槽共用侧壁，所述的霍尔槽和电沉积槽的底板上分别设有一排进液孔，所述的调节槽的底板上设有出液孔，所述的霍尔槽的短侧壁和电沉积槽的侧壁均设有溢流口。该系统功能更加完善，除具有现有常规霍尔槽所有功能外，而且还能在接近生产的工艺条件下评测电沉积层的内应力、硬度、厚度等指标的分布特性，且结构简单、成本低廉。

主权项

一种多功能霍尔槽系统，它包括调节槽（2），含有阴极壁（7）、阳极壁（8）、短侧壁（9）、长侧壁（4）的霍尔槽（1），含有斜壁（16）和侧壁（15）的电沉积槽（3），其特征是：所述的电沉积槽（3）设有阴极装夹单元（17）；所述的阴极装夹单元（17）包括设有直槽（17‑4）的装夹杆（17‑2）、定位板（17‑1）、固定件（17‑3）；所述的直槽（17‑4）的轴线平行于阴极壁（7）；所述的调节槽（2）、霍尔槽（1）和电沉积槽（3）共用底板（6）；所述的霍尔槽（1）与电沉积槽（3）共用阴极壁（7）；所述的霍尔槽（1）与调节槽（2）共用短侧壁（9）；所述的电沉积槽（3）与调节槽（2）共用侧壁（15）；所述的霍尔槽（1）的底板上设有一排进液孔A（5）；所述的电沉积槽（3）的底板上设有一排进液孔B（20）；所述的调节槽（2）的底板上设有出液孔（11）；所述的短侧壁（9）设有溢流口A（10）；所述的侧壁（15）设有溢流口B（14）；所述的底板（6）下面设有进液管B（18）和进液管A（19），且进液管B（18）与进液孔B（20）相联通、进液管A（19）与进液孔A（5）相联通；所述的进液管B（18）和进液管A（19）均与二位三通阀（21）相连接。