一种薄膜桥火工品桥区的制备方法

摘要

本发明公开了一种薄膜桥火工品桥区的制备方法，具体步骤如下：以FR‑5玻纤板为基板，以聚酰亚胺干膜作为粘结层，采用热压贴合工艺将NiCr合金箔牢固地贴于FR‑5玻纤板上；采用MEMS微机械加工工艺，在NiCr合金箔上光刻出薄膜桥区部分。本发明以FR‑5玻纤板为基板材料，因其导热系数较陶瓷基板的低，可以使薄膜桥区在民用爆破点火过程中点火能量聚集，不易从基板流失，并且因基板具有良好的阻燃性能，可以保护点火电路不被破坏，以免造成不必要的损失；本发明以聚酰亚胺作为粘结层，可解决传统的胶水在热压过程中的流淌对NiCr合金箔造成二次污染的问题；以NiCr合金箔作为薄膜桥区材料，可有效解决点火可靠性与一致性差的问题。

主权项

一种薄膜桥火工品桥区的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：1）以FR‑5玻纤板（1）为基板，以聚酰亚胺（3）干膜作为粘结层，采用热压贴合工艺将NiCr合金箔（2）牢固地贴于FR‑5玻纤板（1）上；2）采用MEMS微机械加工工艺，在NiCr合金箔（2）上光刻出薄膜桥区部分。