发明名称 |
一种太阳能电池及其制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种太阳能电池及其制作方法,包括:提供一基底;在基底一表面形成第一保护层;在基底背离第一保护层的表面制作硼扩散层;去除第一保护层和硼硅玻璃后,在硼扩散层背离基底一侧形成第二保护层;在基底背离硼扩散层的表面制作磷扩散层;去除第二保护层、磷硅玻璃和边缘pn结后,在磷扩散层背离基底一侧形成第一钝化层,以及,在硼扩散层背离基底一侧形成第二钝化层;在第一钝化层背离基底一侧形成正面电极并烧结后,得到太阳能电池。在基底的一表面制作硼扩散层,进而将硼扩散层作为太阳能电池的背电场,以在基底背离正面电极一侧形成高浓度掺杂区域,提高了背电场的效果,提高了太阳能电池的性能。 |
申请公布号 |
CN105742411A |
申请公布日期 |
2016.07.06 |
申请号 |
CN201610242862.4 |
申请日期 |
2016.04.19 |
申请人 |
中利腾晖光伏科技有限公司 |
发明人 |
魏青竹;陆俊宇;连维飞;吴晨阳;倪志春 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L31/04(2014.01)I;H01L31/0224(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
常亮 |
主权项 |
一种太阳能电池的制作方法,其特征在于,包括:提供一基底;在所述基底一表面形成第一保护层;在所述基底背离所述第一保护层的表面制作硼扩散层;去除所述第一保护层和硼硅玻璃后,在所述硼扩散层背离所述基底一侧形成第二保护层;在所述基底背离所述硼扩散层的表面制作磷扩散层;去除所述第二保护层、磷硅玻璃和边缘pn结后,在所述磷扩散层背离所述基底一侧形成第一钝化层,以及,在所述硼扩散层背离所述基底一侧形成第二钝化层;在所述第一钝化层背离所述基底一侧形成正面电极并烧结后,得到所述太阳能电池。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市常熟沙家浜常昆工业园腾晖路1号 |