| 发明名称 | 具有压电增强效应的基于BZT-BCT的双层铁电薄膜 | ||
| 摘要 | 一种具有压电增强效应的基于BZT‑BCT的双层铁电薄膜，附着于Pt/Ti/SiO<sub>2</sub>/Si复合衬底的表面，双层铁电薄膜沉积在Pt底电极上，自下而上分别为0.3Ba(Zr<sub>0.2</sub>Ti<sub>0.8</sub>)O<sub>3</sub>‑0.7(Ba<sub>0.3</sub>Ca<sub>0.7</sub>)TiO<sub>3</sub>和0.7Ba(Zr<sub>0.2</sub>Ti<sub>0.8</sub>)O<sub>3</sub>‑0.3(Ba<sub>0.3</sub>Ca<sub>0.7</sub>)TiO<sub>3</sub>。本发明的优点是：该双层铁电薄膜在室温下具有良好的铁电和压电性能，可以减小或消除电极对铁电畴运动的钉扎作用，压电效应比单层0.3Ba(Zr<sub>0.2</sub>Ti<sub>0.8</sub>)O<sub>3</sub>‑0.7(Ba<sub>0.3</sub>Ca<sub>0.7</sub>)TiO<sub>3</sub>铁电薄膜提高一倍以上。 | ||
| 申请公布号 | CN105742479A | 申请公布日期 | 2016.07.06 |
| 申请号 | CN201610118909.6 | 申请日期 | 2016.03.03 |
| 申请人 | 天津理工大学 | 发明人 | 韩叶梅;王芳;张楷亮;曹荣荣 |
| 分类号 | H01L41/08(2006.01)I;H01L41/37(2013.01)I | 主分类号 | H01L41/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人 | 侯力 |
| 主权项 | 一种具有压电增强效应的基于BZT‑BCT的双层铁电薄膜，其特征在于：附着于Pt/Ti/SiO<sub>2</sub>/Si复合衬底的表面，复合衬底是由在单晶Si衬底上生长SiO<sub>2</sub>，在SiO<sub>2</sub>表面溅射一层金属Ti作为电极的粘附层，再溅射一层金属Pt层作底层电极得到，双层铁电薄膜沉积在Pt底电极上，自下而上分别为0.3Ba(Zr<sub>0.2</sub>Ti<sub>0.8</sub>)O<sub>3</sub>‑0.7(Ba<sub>0.3</sub>Ca<sub>0.7</sub>)TiO<sub>3</sub>和0.7Ba(Zr<sub>0.2</sub>Ti<sub>0.8</sub>)O<sub>3</sub>‑0.3(Ba<sub>0.3</sub>Ca<sub>0.7</sub>)TiO<sub>3</sub>，每层厚度均为70‑200nm，用具有相近晶格常数的R相0.3Ba(Zr<sub>0.2</sub>Ti<sub>0.8</sub>)O<sub>3</sub>‑0.7(Ba<sub>0.3</sub>Ca<sub>0.7</sub>)TiO<sub>3</sub>作为T相0.7Ba(Zr<sub>0.2</sub>Ti<sub>0.8</sub>)O<sub>3</sub>‑0.3(Ba<sub>0.3</sub>Ca<sub>0.7</sub>)TiO<sub>3</sub>的过渡层，保证铁电畴的自由移动且保持极化状态。 | ||
| 地址 | 300384 天津市西青区宾水西道391号天津理工大学主校区 | ||