| 发明名称 | 碳化硅锭和碳化硅衬底的制造方法 | ||
| 摘要 | 提供了一种碳化硅锭(1)，其包括端表面(1a)和与端表面(1a)相反端表面(1b)。在碳化硅锭(1)中，端表面(1a)和端表面(1b)在生长方向上彼此面对，并且所述生长方向上的氮浓度梯度不小于1×10<sup>16</sup>cm<sup>‑4</sup>且不大于1×10<sup>18</sup>cm<sup>‑4</sup>。 | ||
| 申请公布号 | CN105745364A | 申请公布日期 | 2016.07.06 |
| 申请号 | CN201480061900.5 | 申请日期 | 2014.10.14 |
| 申请人 | 住友电气工业株式会社 | 发明人 | 堀勉;佐佐木信;本家翼;川濑智博 |
| 分类号 | C30B29/36(2006.01)I;B24B27/06(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;C30B33/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | C30B29/36(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 李兰;孙志湧 |
| 主权项 | 一种碳化硅锭，包括第一端表面和与所述第一端表面相反的第二端表面，所述第一端表面和所述第二端表面在生长方向上彼此面对，在所述生长方向上的氮浓度的梯度不小于1×10<sup>16</sup>cm<sup>‑4</sup>且不大于1×10<sup>18</sup>cm<sup>‑4</sup>。 | ||
| 地址 | 日本大阪府大阪市 | ||