发明名称 Method of forming inorganic material layer
摘要 무기물층의 형성방법에 관해 개시되어 있다. 개시된 무기물층의 형성방법은 무기물의 소오스층을 레이저로 어닐링하여 무기물층으로 변화시키는 단계를 포함할 수 있다. 상기 소오스층은 반고체(semisolid) 상태일 수 있다. 상기 어닐링 전, 예컨대, 전기유체역학적 리소그래피(electrohydrodynamic lithography)(EHL) 법으로 상기 소오스층을 패터닝할 수 있다.
申请公布号 KR101636911(B1) 申请公布日期 2016.07.06
申请号 KR20090039886 申请日期 2009.05.07
申请人 삼성전자주식회사;성균관대학교산학협력단 发明人 차승남;송병권;장재은;강대준;이수옥
分类号 G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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