一种MEMS麦克风测试机构

摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风测试机构，包括测试声腔、产品测试底座和测试针座。测试声腔设在产品测试底座的下方，能为待测MEMS麦克风提供外部声源。产品测试底座的顶部设有产品放置槽，产品放置槽底部设有底部进音孔，其周边设有周边进音孔，周边进音孔的外周设有第一密封结构。测试针座的高度能够升降；测试针座底部设有空腔和和第二密封结构。当测试针座高度下降时，第二密封结构能与第一密封结构密封配合，在待测MEMS麦克风的上方形成与测试声腔相连通且密封的“第二声腔”。采用上述结构后，通用性强，能对前进音麦克风或背进音麦克风等进行声学检测，节省生产成本，另外，测试结果准确度高，测试结果更稳定。

主权项

一种MEMS麦克风测试机构，其特征在于：包括测试声腔、产品测试底座和测试针座；测试声腔设置在产品测试底座的下方，且顶端开口，能为待测MEMS麦克风提供外部声源；产品测试底座的顶部设置有用于安装待测MEMS麦克风的产品放置槽，产品放置槽的底部中心设置有中心进音孔，产品放置槽的周边设置有周边进音孔，中心进音孔和周边进音孔均与测试声腔相连通；周边进音孔的外周设置有第一密封结构；测试针座位于产品测试底座的正上方，测试针座的高度能够升降；测试针座底部设置有空腔和位于空腔外周的第二密封结构；当待测MEMS麦克风安装在产品放置槽内，测试针座下压时，测试针座底部的第二密封结构能与产品测试底座的第一密封结构密封配合，在待测MEMS麦克风的上方形成密封的“第二声腔”，该“第二声腔”通过周边进音孔与测试声腔相连通。