镜框固定装置

摘要

本发明提供一种镜框固定装置，其用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，所述镜框固定装置包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔，所述螺钉套筒的长度大于所述上镜框的厚度，所述螺钉套筒旋合于上镜框的上螺纹孔中，所述螺钉套筒的下端与所述下镜框的上表面相接触，所述螺钉穿过所述螺钉套筒固定于所述下镜框中，该镜框固定装置结构简单，易安装，安装效率高，稳定牢固，并且不会受到在螺钉拧紧时产生的应力的影响而变形，保证了镜片的面型及光刻机的质量。

主权项

一种镜框固定装置，用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，其特征在于：包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔，所述螺钉套筒的长度大于所述上镜框的厚度，所述螺钉套筒旋合于上镜框的上螺纹孔中，所述螺钉套筒的下端与所述下镜框的上表面相接触，所述螺钉穿过所述螺钉套筒固定于所述下镜框中；所述螺钉包括螺帽和螺纹部分，所述螺纹部分的一端与所述螺帽连接，所述螺纹部分上设有螺钉外螺纹，所述下镜框中设有具有与该螺钉外螺纹对应内螺纹的下螺纹孔，所述螺纹部分的另一端穿过螺钉套筒后，通过和所述下螺纹孔旋合，固定于所述下镜框中；所述螺纹部分与所述螺钉套筒之间留有空隙且不接触。