发明名称 一种补偿镜片调整装置
摘要 本发明公开一种补偿镜片调整装置,包括:一倾斜调整模块,该倾斜调整模块包括相互紧邻的一凸面镜座和一凹面镜座,以及一调整电机,通过该调整电机改变该凸面镜座在该凹面镜座中的滑动距离;一轴向调整模块,该轴向调整模块包括一垂向调整电机,一轴向调整环以及一轴向调整顶丝,该垂向调整电机带动该轴向调整环沿着机械轴旋转,以推动该轴向调整顶丝的上升或下降;一偏心调整模块,用于实现偏心调整;一锁紧模块,该锁紧模块包括一气缸及一锁紧压块,用于该调整完成后的该补偿镜片。
申请公布号 CN103792637B 申请公布日期 2016.07.06
申请号 CN201210425171.X 申请日期 2012.10.31
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 贾翔
分类号 G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G02B7/02(2006.01)I
代理机构 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 代理人 王光辉
主权项 一种补偿镜片调整装置,其特征在于,包括:    一倾斜调整模块,所述倾斜调整模块包括相互紧邻的一凸面镜座和一凹面镜座,以及一第一调整电机,通过所述第一调整电机改变所述凸面镜座在所述凹面镜座中的滑动距离,从而起到倾斜调整所述补偿镜片的作用,所述补偿镜片被固定于所述凸面镜座内,所述凹面镜座被固定在调整镜筒内;一轴向调整模块,所述轴向调整模块包括一垂向调整电机,一轴向调整环以及一轴向调整顶丝,所述垂向调整电机带动所述轴向调整环沿着机械轴旋转,以推动所述轴向调整顶丝的上升或下降,所述轴向调整顶丝作用于所述调整镜筒,完成对所述补偿镜片的轴向距离调整;一偏心调整模块,固定在所述轴向调整模块中,用于实现所述补偿镜片的偏心调整;一锁紧模块,所述锁紧模块包括一气缸及一锁紧压块,用于锁紧所述调整镜筒从而锁紧所述调整完成后的所述补偿镜片。
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号