氧氮化铝涂覆的物品及其制造方法

摘要

本发明涉及氧氮化铝涂覆的物品及其制造方法。一种涂覆的物品（如一种涂覆的切削刀具或涂覆的磨损部件）包括一个基底以及在该基底上的一种涂覆方案。该涂覆方案具有一个含钛涂层、以及在该含钛涂层上的一个氧氮化铝涂层。制造这种涂覆物品的方法包括以下步骤：提供一个基底并且由一种气态混合物沉积一个氧氮化铝涂层，该气态混合物包括氮气、三氯化铝、氨、二氧化碳、氯化氢、任选的一氧化碳、任选的氩气、以及氢气。

主权项

一种用于制造涂覆的物品的方法，该方法包括以下步骤：提供一个基底；由一种气态混合物沉积一个氧氮化铝涂层，该气态混合物包括：量值在该气态混合物的30.0的体积百分比与65.0的体积百分比之间的氮气；量值在该气态混合物的0.7的体积百分比与1.3的体积百分比之间的三氯化铝；量值在该气态混合物的1.0的体积百分比与2.0的体积百分比之间的氨；量值在该气态混合物的0.1的体积百分比与1.5的体积百分比之间的二氧化碳；量值在该气态混合物的1.5的体积百分比与4.5的体积百分比之间的氯化氢；任选地量值在该气态混合物的0的体积百分比与2.0的体积百分比之间的一氧化碳；任选地量值在该气态混合物的0的体积百分比与25的体积百分比之间的氩气；以及作为余量的氢气。