利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统

摘要

本申请提供一种利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，包括光源、第一分光元件、准直单元及探测单元；所述准直单元，将光源产生的光会聚成平行光；所述第一分光元件使通过所述准直单元的平行光的一部分垂直入射至样品上，以及使样品反射的光的一部分入射至所述探测单元；所述探测单元，测量样品的透射光谱及反射光谱。本发明提供的光学量测系统，采用无色差的平行光垂直入射，避免了会聚光束测量时，入射角存在一定分布范围造成的误差，以及测量较厚衬底时，斜入射光束在厚衬底内多次反射容易引起的系统误差，并解决了垂直入射时入射角度不易校准的问题，可在宽光谱范围内实现厚衬底的透射率和反射率测量，提高了测量精度。

主权项

一种利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，其特征在于，包括：光源、第一分光元件、准直单元及探测单元；所述准直单元，将光源产生的光会聚成平行光；所述平行光通过所述第一分光元件垂直入射至样品上；经所述样品透射的光入射至所述探测单元；经所述样品反射的光通过第一分光元件后入射至所述探测单元；所述探测单元，测量入射光谱及反射光谱；还包括光阑，所述光阑设置在所述准直单元和所述第一分光元件之间，作为垂直入射时反射光光斑在垂直入射校准单元中位置的参考。