| 发明名称 | 一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备，包括燃烧罐，硅烷尾气用氮气控制浓度，使用风机（1）产生的压缩空气与硅烷尾气在燃烧罐（6）内混合，使硅烷在燃烧罐（6）内充分燃烧，所述的风机（1）至燃烧罐（6）的管路之间设有自动关断阀（2）和止回阀（3）；在硅烷尾气进口（62）管道内安装一由气缸（10）控制的带螺旋弹簧（9）的自动清理装置（5）。本实用新型可以满足半导体、太阳能和LED/LCD等行业的硅烷类尾气的安全无害化处理。 | ||
| 申请公布号 | CN205372581U | 申请公布日期 | 2016.07.06 |
| 申请号 | CN201620073213.1 | 申请日期 | 2016.01.26 |
| 申请人 | 上海旭熠电子技术有限公司 | 发明人 | 王飞 |
| 分类号 | F23G7/06(2006.01)I | 主分类号 | F23G7/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 | 代理人 | 董梅 |
| 主权项 | 一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备，包括燃烧罐，硅烷尾气用氮气控制浓度，其特征在于：使用风机（1）产生的压缩空气与硅烷尾气在燃烧罐（6）内混合，使硅烷在燃烧罐（6）内充分燃烧，所述的风机（1）至燃烧罐（6）的管路之间设有自动关断阀（2）和止回阀（3）；在硅烷类尾气进口（62）管道内安装一由气缸（10）控制的带螺旋弹簧（9）的自动清理装置（5）。 | ||
| 地址 | 201400 上海市奉贤区环城西路2258号 | ||