| 摘要 |
作業装置の表面実装機から検査機への組み換え作業、および検査機から表面実装機への組み換え作業を、より少ない労力で行うことが可能な技術を提供する。本明細書は、基板に対して作業を行うための作業装置に作業ヘッドとして取り付け可能な基板の表面状態を検査する検査ヘッドを開示する。その検査ヘッドは、基板を撮影して画像データを取得するカメラと、検査処理プログラムと検査基準データを記憶可能な記憶媒体と、検査処理プログラムに従って、カメラから取得される画像データと検査基準データに基づいて検査処理を実行する制御部とを搭載している。 |
