发明名称 監視装置およびワイヤウェブ監視方法およびワイヤソー
摘要 ワイヤソーのワイヤウェブを監視するための、改良され、簡素化されたシステムおよび方法について説明する。このシステムは、ワイヤウェブ上を移動するセンサを含み、よって、ワイヤウェブの、またはそのワイヤグループの個々のワイヤの撓みを判定する。
申请公布号 JP2016518996(A) 申请公布日期 2016.06.30
申请号 JP20160507070 申请日期 2014.03.26
申请人 マイヤー ブルガー アーゲー 发明人 ジング ダニエル
分类号 B24B27/06;B24B49/16;B28D5/04;B28D7/00;H01L21/304 主分类号 B24B27/06
代理机构 代理人
主权项
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