发明名称 |
監視装置およびワイヤウェブ監視方法およびワイヤソー |
摘要 |
ワイヤソーのワイヤウェブを監視するための、改良され、簡素化されたシステムおよび方法について説明する。このシステムは、ワイヤウェブ上を移動するセンサを含み、よって、ワイヤウェブの、またはそのワイヤグループの個々のワイヤの撓みを判定する。 |
申请公布号 |
JP2016518996(A) |
申请公布日期 |
2016.06.30 |
申请号 |
JP20160507070 |
申请日期 |
2014.03.26 |
申请人 |
マイヤー ブルガー アーゲー |
发明人 |
ジング ダニエル |
分类号 |
B24B27/06;B24B49/16;B28D5/04;B28D7/00;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B27/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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