| 发明名称 |
ヒドロフルオロオレフィンエッチングガス混合物 |
| 摘要 |
本発明は、ＣＶＤチャンバ内の表面堆積物を除去するのに有用なヒドロフルオロオレフィン組成物に関し、またチャンバ内又はリモートチャンバ内でのガス混合物の活性化により生じる活性化ガス混合物を使用することにより化学気相堆積チャンバの内部から表面堆積物を除去するための方法に関し、ガス混合物はヒドロフルオロオレフィンを含む。 |
| 申请公布号 |
JP2016519216(A) |
申请公布日期 |
2016.06.30 |
| 申请号 |
JP20160505580 |
申请日期 |
2014.03.28 |
| 申请人 |
ザ ケマーズ カンパニー エフシー リミテッド ライアビリティ カンパニー |
发明人 |
ゲイリー ロー;マリオ ジョセフ ナッパ;リー タイ−チェン;リー ハオ−チュン |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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