| 摘要 |
加速、回転、磁場などの物理的パラメータを測定するためのセンサーは、基板平面を画定している基板と、検知方向に少なくとも第１の要素を有している運動を実施するために基板上に懸架された少なくとも１枚の検知プレートを含む。検知方向は、基板平面に対して直角である。基板平面に平行な回転軸に対して回転運動を実施するために基板上に懸架された少なくとも１つの検出アームがある。面外結合構造は、検出アームの回転運動を発生させるために検知プレートの運動の第１の要素を検出アームに結合させるように使用される。回転検出構造は、基板平面に対する検出アームの回転運動を検出するために、検出アームと連携している。ピボット要素は面外結合構造から少し離れて配置されており、検知プレートが傾動面外運動を実施するように、ピボット要素は、検知プレートを基板上で一定の距離にある幾何学的な基準面に結合させる。 |
