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发明名称
Selecting one or more parameters for inspection of a wafer
摘要
Computer-implemented methods, computer-readable media, and systems for selecting one or more parameters for inspection of a wafer are provided.
申请公布号
IL214318(A)
申请公布日期
2016.06.30
申请号
IL20110214318
申请日期
2011.07.27
申请人
KLA-TENCOR CORPORATION
发明人
分类号
H01L
主分类号
H01L
代理机构
代理人
主权项
地址
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