发明名称 | 一种卷绕式ITO结晶设备 | ||
摘要 | 一种卷绕式ITO结晶设备,包括放膜辊,第一组夹紧辊,高温辊,第二组夹紧辊,收膜辊,第一速度检测传感器,薄膜,第二速度检测传感器;其中:放膜辊与第一组夹紧辊平行布置在框架上,第一组夹紧辊和高温辊平行布置在框架上;高温辊和第二组夹紧辊平行布置在框架上,第二组夹紧辊和收膜辊平行布置在框架上;第一速度检测传感器布置在第二组夹紧辊的下后方;第二速度检测传感器布置在第一组夹紧辊的下前方;薄膜绕在放膜辊上,顺次通过第一组夹紧辊、高温辊、第二组夹紧辊和收膜辊上。本发明的优点:加热辊能与零张力的薄膜完整贴合,且能保证每一点都能受热均匀,可以有效解决薄膜宽度的限制,可制备大尺寸ITO结晶膜。 | ||
申请公布号 | CN104192891B | 申请公布日期 | 2016.06.29 |
申请号 | CN201410367386.X | 申请日期 | 2014.07.30 |
申请人 | 沈阳镨和真空电子设备有限公司 | 发明人 | 王宇 |
分类号 | C01G15/00(2006.01)I | 主分类号 | C01G15/00(2006.01)I |
代理机构 | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人 | 任玉龙 |
主权项 | 一种卷绕式ITO结晶设备,其特征在于:所述的卷绕式ITO结晶设备,包括放膜辊(1),第一组夹紧辊(2),高温辊(4),第二组夹紧辊(5),收膜辊(6),第一速度检测传感器(7),薄膜(8),第二速度检测传感器(9);其中:放膜辊(1)与第一组夹紧辊(2)平行布置在框架上,第一组夹紧辊(2)和高温辊(4)平行布置在框架上;高温辊(4)和第二组夹紧辊(5)平行布置在框架上,第二组夹紧辊(5)和收膜辊(6)平行布置在框架上;第一速度检测传感器(7)布置在第二组夹紧辊(5)的下后方;第二速度检测传感器(9)布置在第一组夹紧辊(2)的下前方;薄膜(8)绕在放膜辊(1)上,顺次通过第一组夹紧辊(2)、高温辊(4)、第二组夹紧辊(5)和收膜辊(6)上。 | ||
地址 | 110000 辽宁省沈阳市沈北新区蒲河路83号 |