一种半导体设备真空检测仪器

摘要

本实用新型涉及仪器仪表领域，具体涉及一种半导体设备真空检测仪器，它包括真空检测箱，所述真空检测箱左方设置有预真空箱，所述真空检测箱右方设置有分子泵，所述真空检测箱上端设置有高真空计，所述真空检测箱下端设置有电容真空计，所述分子泵通过前端阀门连接有干燥泵，所述干燥泵左端连接在真空检测箱上，所述干燥泵与真空检测箱之间设置有粗抽取阀门，减少能量的消耗，避免了外界的干扰，可以多次对设备进行检查，保证不会出现漏查的情况，克服了半导体设备真空疑难问题的及时检查难题，能很好的检查出半导体设备的泄露情况，保障了设备的正常使用与使用人员的安全，值得推广，整个仪器结构紧凑，设计原理简单，具有很好的实用意义。

主权项

一种半导体设备真空检测仪器，其特征在于：它包括真空检测箱，所述真空检测箱左方设置有预真空箱，所述真空检测箱右方设置有分子泵，所述真空检测箱上端设置有高真空计，所述真空检测箱下端设置有电容真空计，所述分子泵通过前端阀门连接有干燥泵，所述干燥泵左端连接在真空检测箱上，所述干燥泵与真空检测箱之间设置有粗抽取阀门。