一种具有振荡模块的微机电系统装置

摘要

一种微机电系统装置，其包括设置于第一框架内的双感测质量块，而能同时感测双轴的角速度。再者，具有振荡模块的微机电系统装置亦凭借将两个振荡模块连接在杠杆结构的两端，而使其运动时让两个振荡模块达到彼此同步且反向的运动模式。此外，具有振荡模块的微机电系统装置亦凭借连接在感测质量块与移动电极间的弹簧组件，而限制感测质量块仅能以特定方向驱动移动电极。

主权项

一种微机电系统装置，用于检测双轴角速度，其特征在于，该微机电系统装置包括：至少一杠杆；二个振荡单元，其中一该振荡单元连接该至少一杠杆的一端且其中另一该振荡单元连接该至少一杠杆的另一端，且该二个振荡单元是二个振荡模块，每一该振荡模块包括：至少一第一框架，沿一第二轴向来回振荡；至少一第三框架，位在该第一框架内；至少一第一感测质量块，位在该第三框架内；数个扭转梁，分别连接该第一感测质量块与该第三框架；数个第一弹簧，分别沿一第一轴向连接该第一框架与该第三框架，其中该第一轴向与该第二轴向相互垂直；至少一基座；以及至少一第一弹簧组件，其包括：数个弹性体，各该些弹性体分别连接该至少一杠杆与该至少一基座；至少一支架，连接该至少一杠杆与这些弹性体。