一种对称杠杆结构的MEMS线性可变电容器

摘要

本发明是一种对称杠杆结构的MEMS线性可变电容器，包括介质衬底、上极板、下驱动电极、电容下极板及4个对上极板起支撑和固定作用的锚点，上极板的两端部分与下驱动电极相应，中间部分与电容下极板相应，两端部分在下驱动电极的作用下加速向下运动，带动中间部分向上运动，使上极板和电容下极板之间的电容线性减小，电容下极板较厚，下驱动电极较薄，可使可调电容器的初始电容值大、电容变化范围大。

主权项

一种对称杠杆结构的MEMS线性可变电容器，包括：介质衬底(1)；设置在介质衬底(1)上的下驱动电极(3)、电容下极板(4)和锚点(5)；以及，设置在锚点(5)上的上极板(2)，锚点(5)对上极板(2)起支撑和固定作用，上极板(2)分为中间部分和两端部分，中间部分与电容下极板(4)对应，做上下运动，两端部分分别与一个下驱动电极(3)对应，以锚点(5)为支点做杠杆运动；所述电容下极板(4)上覆有一层Si₃N₄薄膜，作为上极板(2)与电容下极板(4)之间的电气隔离层，电容下极板(4)的厚度大于下驱动电极(3)，在锚点(5)高度固定的情况下，电容下极板(4)越厚，与上极板(2)之间的距离就越小，可变电容的初始电容值就越大。