用于光伏、半导体行业氢氟酸废水回用处理装置及其工艺

摘要

本发明公开了一种用于光伏、半导体行业氢氟酸废水回用处理工艺，包括：氢氟酸废水经收集池调质调量后泵入预处理水池，pH值调整到pH＝2.4-2.6；然后经过多介质过滤器去除其中的悬浮物和有机物后进入一级反渗透系统脱除废水中的氟硅酸盐，一级反渗透系统的出水依次经过一级pH值调整至4-6和二级pH值调整至8-9，增压后进入二级反渗透系统进行脱氟除盐处理，产水若符合回用水标准则通过回水管道提供给用户，若不符合则排回氢氟酸废水收集池重新处理。本发明工艺不仅能够将氢氟酸废水回用约60％，而且处理后的水质优于自来水的水质，可直接回用于纯水制备系统或直接回用给工艺水系统，使回用的废水在厂区中循环使用，降低废水排放总量，节约用水成本。

主权项

一种用于光伏、半导体行业氢氟酸废水回用处理装置，包括与氢氟酸废水来水连接的氢氟酸废水收集池(1)和氢氟酸废水处理系统；所述氢氟酸废水收集池(1)依次连接的废水泵(2)、预处理水池(3)和原水箱(5)；所述原水箱(5)的出水分两路：一路依次经低压泵(6)、多介质过滤器(7)、保安过滤器(10)和一级高压泵(11)，连接至一级反渗透系统(12)的原水进口，另一路依次经反洗泵(8)连接至所述多介质过滤器(7)的反洗进口，所述多介质过滤器(7)的反洗出口连接至所述氢氟酸废水处理系统；所述一级反渗透系统(12)包括两段反渗透单元，所述一级反渗透系统(12)的产水口连接到一级pH调节池(13)，所述一级反渗透系统(12)的浓水口连接到氢氟酸废水处理系统；其特征在于：所述一级pH调节池(13)的出液口依次连接到二级pH调节池(15)、二级高压泵(17)后连接到二级反渗透系统(18)的原水进口；所述二级反渗透系统(18)为两段反渗透结构，所述二级反渗透系统(18)的浓水口连接到氢氟酸废水处理系统，所述二级反渗透系统(18)的产水口连接到产水箱(19)，所述产水箱(19)的出口通过回用水泵(20)后分别连接到回水管道和氢氟酸废水收集池(1)；所述预处理水池(3)、所述一级pH调节池(13)、所述二级pH调节池(15)均分别连接有氢氧化钠自动加药装置，每套氢氧化钠自动加药装置配套有搅拌器和pH在线检测仪；所述保安过滤器(10)的进口管道上连接有阻垢剂自动加药装置(9)；各氢氧化钠自动加药装置、阻垢剂自动加药装置(9)、多介质过滤器(7)均与一PLC控制装置相连；所述氢氟酸废水收集池(1)、预处理水池(3)、原水箱(5)、一级pH调节池(13)、二级pH调节池(15)和产水箱(19)均分别设有与所述PLC控制装置连接的液位传感器；所述一级反渗透系统(12)、二级反渗透系统(18)和回水管道上均各自配套有与所述PLC控制装置连接的水质监视仪表。