发明名称 SUBSTRATE LAMINATION SYSTEM AND METHOD
摘要 기판을 적층하기 위한 방법은 실질적으로 평면 표면의 제1 기판과 실질적으로 평면 표면의 제2 기판 사이에 감압(pressure-sensitive) 접착제 층을 배치하는 단계, 상기 제1 기판, 상기 감압 접착제 층 및 상기 제2 기판을 진공 챔버 내에 배치하는 단계, 상기 진공 챔버를 진공화(evacuate)하며, 상기 제1 기판과 제2 기판 중 적어도 하나에 압력을 인가하는 단계를 포함할 수 있다.
申请公布号 KR20160075701(A) 申请公布日期 2016.06.29
申请号 KR20167013740 申请日期 2009.01.15
申请人 ROCKWELL COLLINS, INC. 发明人 BARNIDGE TRACY J.;NEMETH PAUL R.;SAMPICA JAMES D.;MARZEN VINCENT P.;TCHON JOSEPH L.
分类号 H01L51/52;B32B37/00;B32B37/10;B32B37/12;B32B37/26;B32B38/18;B32B43/00 主分类号 H01L51/52
代理机构 代理人
主权项
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