CHUCK STRUCTURE FOR TESTING A WAFER USING PROBE CARD

摘要

프로브 카드를 이용한 웨이퍼 검사용 척 구조물은 척 플레이트 및 다수의 유로들을 포함한다. 상기 척 플레이트는 상부에 프로브 카드에 의한 검사 공정이 진행되는 웨이퍼가 놓여진다. 상기 유로들은 상기 척 플레이트를 다수의 영역들로 구분한 상태에서 상기 영역들 각각에 대응되도록 상기 척 플레이트에 내장되며, 상기 웨이퍼를 가열 또는 냉각하기 위하여 유체가 개별적으로 공급된다.