激光加工装置

摘要

具有：激光振荡器(1)；加工工作台(2)；传输光学系统，其将从激光振荡器(1)射出的激光(L)传输至加工工作台(2)；加工头(4)，其将经由传输光学系统传输的激光(L)聚光照射至被加工材料；移动单元(5)，其使照射至被加工材料的激光(L)和被加工材料的相对位置发生变化；以及球面曲率可变反射镜(67)。传输光学系统具有对来自激光振荡器(1)的激光进行平行化且扩大的反射型扩束机构(6)，反射型扩束机构(6)包含球面反射镜(63)、以及正交的2个轴的曲率不同的凹反射镜(62)。

主权项

一种激光加工装置，其由下述部件构成：激光振荡器，其射出激光；加工工作台，其载置有被加工材料；传输光学系统，其将从所述激光振荡器射出的激光传输至所述加工工作台；加工头，其将经由所述传输光学系统传输的激光聚光照射至所述被加工材料；以及移动单元，其使照射至所述被加工材料的激光和所述被加工材料的相对位置发生变化，所述激光加工装置的特征在于，所述传输光学系统具有球面曲率可变反射镜、以及对来自所述激光振荡器的激光进行平行化且扩大的反射型扩束机构，所述反射型扩束机构包含球面反射镜和正交的2个轴的曲率不同的反射镜，所述球面曲率可变反射镜配置在所述球面反射镜和所述正交的2个轴的曲率不同的反射镜之间。