散热结构体、功率模块、散热结构体的制造方法以及功率模块的制造方法

摘要

提供一种在冷热循环中接合强度高并且冷却效率高的散热结构体、功率模块、散热结构体的制造方法以及功率模块的制造方法。本发明的功率模块(1)具有：具有绝缘性的陶瓷基板(10)；由在该陶瓷基板(10)的表面通过硬焊料被接合的金属或合金形成的金属部件(50)；通过在该金属部件(50)的表面上将由金属或合金形成的粉末与气体一同加速，并在固相状态下喷涂堆积到表面上而形成的散热部件(40)，在散热部件(40)的内部埋设有热管(60)。

主权项

一种散热结构体，具有：陶瓷基板，其具有绝缘性；金属部件，其由通过硬焊料被接合在上述陶瓷基板的表面的金属或合金形成；金属覆膜层，其是通过在上述金属部件的表面，将由金属或合金形成的粉末与气体一同加速并在固相状态下喷涂堆积到上述表面上而形成的；以及热管，其在棒状的一端部具有从外部吸热的吸热部且在另一端部具有向外部散热的散热部，并且能够调整温度，上述吸热部被埋设在上述金属覆膜层的内部。