蚀刻介质的流量调节装置和蚀刻介质的流量调节方法

摘要

本发明提出了一种蚀刻介质的流量调节装置和一种方法，装置包括：采集单元，采集流入每个管道和/或每个喷管的蚀刻介质的实时压力信号，并将采集到的每个实时压力信号发送至控制单元；控制单元，分别将接收到的每个实时压力信号与对应的预设压力信号进行比较，根据比较结果生成流量控制信号，并将流量控制信号发送至调节单元；调节单元，根据接收到的流量控制信号，调节与任一实时压力信号相对应的目标管道和/或目标喷管中的蚀刻介质的流量，以使任一实时压力信号与对应的预设压力信号相等。通过本发明的技术方案，可以避免手动调节流入蚀刻机中管道和各喷管的蚀刻介质的压力，并实现提高蚀刻均匀性的目的。

主权项

一种蚀刻介质的流量调节装置，用于蚀刻机，其特征在于，所述蚀刻机包括至少一个管道和至少一个喷管，以及所述装置包括：采集单元，采集流入所述至少一个管道中的每个管道和/或所述至少一个喷管中的每个喷管的蚀刻介质的实时压力信号，并将采集到的每个所述实时压力信号发送至控制单元；所述控制单元，连接至所述采集单元，分别将接收到的每个所述实时压力信号与对应的预设压力信号进行比较，根据比较结果生成流量控制信号，并将所述流量控制信号发送至调节单元；所述调节单元，连接至所述控制单元，根据接收到的所述流量控制信号，调节与任一实时压力信号相对应的目标管道和/或目标喷管中的蚀刻介质的流量，以使任一所述实时压力信号与对应的所述预设压力信号相等。