| 发明名称 | 真空溅射单元的观察窗机构 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种真空溅射单元的观察窗机构，其中，所述观察窗机构包括壳体，所述壳体的表面上设有贯穿窗口，所述壳体的内壁上设有第一滑槽和第二滑槽，且所述第一滑槽和所述第二滑槽分别位于所述贯穿窗口的两侧，所述第一滑槽和所述第二滑槽上可滑移地设有盖门，当滑移所述盖门可以将所述贯穿窗口盖合，且所述壳体的外壁上设有玻璃，且所述玻璃完全遮盖所述贯穿窗口，所述盖门为磁性材料，且所述壳体的外壁上设有磁铁，当移动所述磁铁时可以带动所述盖门运动。解决了普通的镀膜室，其侧壁上会设有玻璃窗，但是长时间工作后，玻璃窗上的玻璃上会沉积膜层，导致玻璃透明度下降，影响观察的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN105714264A | 申请公布日期 | 2016.06.29 |
| 申请号 | CN201610266288.6 | 申请日期 | 2016.04.27 |
| 申请人 | 芜湖真空科技有限公司 | 发明人 | 金海涛;薛辉;昌江;任俊春 |
| 分类号 | C23C14/52(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种真空溅射单元的观察窗机构，其特征在于，所述观察窗机构包括壳体，所述壳体的表面上设有贯穿窗口(1)，所述壳体的内壁上设有第一滑槽(11)和第二滑槽(12)，且所述第一滑槽(11)和所述第二滑槽(12)分别位于所述贯穿窗口(1)的两侧，所述第一滑槽(11)和所述第二滑槽(12)上可滑移地设有盖门(13)，当滑移所述盖门(13)可以将所述贯穿窗口(1)盖合，且所述壳体的外壁上设有玻璃，且所述玻璃完全遮盖所述贯穿窗口(1)，所述盖门(13)为磁性材料，且所述壳体的外壁上设有磁铁，当移动所述磁铁时可以带动所述盖门(13)运动。 | ||
| 地址 | 241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁山路11号 | ||