一种CO₂射频激光器

摘要

本实用新型公开了一种CO₂射频激光器，包括激光器腔体、整形腔体，所述激光器腔体设置有上电极、下电极，上电极、下电极之间通过匹配电感连接，所述激光器腔体两侧对称固定设置有端盖，下电极通过底板与激光器腔体底部内壁固定，固定下电极底板的两侧对称设置有用于固定谐振腔输出镜的安装架，激光器腔体上端一侧设置有窗口镜，上电极设置有高度调节装置，本实用新型的电极结构十分方便腔体和电极的安装，另外可以在腔体外部实现电极之间距离的调整，克服了目前市场CO₂射频激光器光路系统的不足，实现对光路的整形，能很好的消除光束的旁瓣，从而提高加工精度。

主权项

一种CO₂射频激光器，包括激光器腔体（1）、整形腔体（2），其特征在于：所述激光器腔体（1）设置有上电极（13）、下电极（14），上电极（13）、下电极（14）之间通过匹配电感（15）连接，所述激光器腔体（1）两侧对称固定设置有端盖（12），下电极（14）通过底板（16）与激光器腔体（1）底部内壁固定，固定下电极（14）底板（16）的两侧对称设置有用于固定谐振腔输出镜（115）的安装架（112），激光器腔体（1）上端一侧设置有窗口镜（116），上电极（13）设置有高度调节装置；所述的高度调节装置包括一组呈直角三角形设置的上调节滑块（17）、下调节滑块（18），上调节滑块（17）、下调节滑块（18）的斜面相对设置，且整体呈矩形形状，上调节滑块（17）与下调节滑块（18）的一侧直角边均设置有调节螺杆（110），调节螺杆（110）与激光器腔体（1）两侧对称设置的端盖（12）可调连接；所述下调节滑块（18）底部两侧通过对称设置的绝缘瓷片（19）与上电极（13）上表面连接，上电极（13）沿长度方向侧端的中央位置设置有射频信号连接座（111）；所述整形腔体（2）包括平面反射镜（21）、球面聚焦镜（22）、空间滤波器（23）、柱面镜（24）以及球面准直镜（25）；所述激光器腔体（1）内上电极（13）、下电极（14）产生的激光束依次通过其内设置的谐振腔输出镜（115）、窗口镜（116）进入整形腔体（2），激光束依次通过平面反射镜（21）、球面聚焦镜（22）、空间滤波器（23）、柱面镜（24）以及球面准直镜（25）进行整形。