| 摘要 |
本開示のサファイア板用研磨液組成物は、シリカ粒子と、オルトリン酸塩、亜リン酸塩、及び次亜リン酸塩からなる群から選ばれる１種以上の無機リン酸塩化合物と、水系媒体とを含有し、２５℃におけるｐＨが８以上である。前記無機リン酸塩化合物は、好ましくは、オルトリン酸塩、亜リン酸塩、及び次亜リン酸塩からなる群から選ばれる１種以上の無機リン酸塩化合物である。本開示のサファイア板の製造方法の一例は、被研磨サファイア板に対して、前記サファイア板用研磨液組成物を供給して、前記被研磨サファイア板を研磨する工程を含む。本開示の被研磨サファイア板の研磨方法の一例は、被研磨サファイア板に対して、前記サファイア板用研磨液組成物を供給して、前記被研磨サファイア板を研磨する工程を含む。 |
