集成有波导的石墨烯光电探测器

摘要

本发明提供一种集成有波导的石墨烯光电探测器，其包括：波导，位于基板上；以及光电探测部分，连接到波导并且来自波导的光经过光电探测部分。光电探测部分包括：第一脊部，从波导的下部延伸；石墨烯，至少形成在第一脊部的上表面上；第二脊部，形成在石墨烯上，以面对第一脊部；以及第一电极和第二电极，与第一脊部分离，并且电连接到石墨烯。第二脊部接触波导的上部。

主权项

一种集成有波导的石墨烯光电探测器，包括：波导，位于基板上；以及光电探测部分，连接到所述波导，并且来自所述波导的光经过所述光电探测部分，其中所述光电探测部分包括：第一脊部，从所述波导的下部延伸；石墨烯，至少形成在所述第一脊部的上表面上；第二脊部，形成在所述石墨烯上，以面对所述第一脊部；以及第一电极和第二电极，与所述第一脊部分离，并且电连接到所述石墨烯，其中所述第二脊部接触所述波导的上部。