铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜、制备方法及其应用

摘要

一种铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜，其化学式为MeLiBO₃:xCe³⁺，其中0.005≤x≤0.05，MeLiBO₃是基质，铈元素是激活元素，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。该铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜的电致发光光谱(EL)中，在535nm波长区都有很强的发光峰，能够应用于薄膜电致发光显示器中。本发明还提供该铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜的制备方法及其应用。

主权项

一种铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：根据MeLiBO₃：xCe³⁺各元素的化学计量比将MeO，Li₂O，B₂O₃和CeO₂粉体，经过混合后，在900℃～1300℃下烧结得到靶材；将衬底装入脉冲激光沉积设备的反应室中，并将反应室的真空度设置为1.0×10^‑3Pa～1.0×10^‑5Pa；调节基靶间距为45mm～95mm，衬底的温度为250℃～750℃，工作气体的流量为10sccm～35sccm，工作压强为0.2Pa～4Pa，脉冲激光能量为50W～500W，进行脉冲激光沉积得到化学式为MeLiBO₃：xCe³⁺的铈掺杂碱土硼酸锂盐发光薄膜，其中，MeLiBO₃是基质，铈元素是激活元素，0.005≤x≤0.05，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。