一种超大型细晶钼平面靶的制备方法

摘要

一种超大型细晶钼平面靶的制备方法，采用纯度＞99.95%的钼粉制得，其中，钼平面靶的长度＞450㎜，宽度＞320㎜，厚度＞75㎜，制备方法是：取钼粉装入胶膜内，静压成型，后置于中频炉，氢气气氛下烧结成板坯后，置入模具中，锻打板坯模具，后置入回火炉，退火，形成细晶组织,精细加工、清洗、干燥后制得钼平面靶。本发明克服了烧结和锻打的工艺缺陷，工艺简单，易工业化生产控制，降低污染，成本低，质量提高，生产效率极大提高。

主权项

一种超大型细晶钼平面靶的制备方法，采用纯度＞99.95%的钼粉制得，其中，钼平面靶的长度＞450㎜，宽度＞320㎜，厚度＞75㎜，其特征在于：步骤一、取粒度2.8‑3.8μm的钼粉，装入事先制好的橡胶模套内，采用160‑200MPa静压成型，后置于中频炉，在氢气的气氛下，保持温度1900℃烧结55‑65小时，烧成板坯后，备用；步骤二、从中频炉取出烧成的板坯，置入事先制好的模具中，控制板坯的温度1350℃，锻打板坯模具，锻打时控制板坯的变形量＜50%，锻打成长度＞450㎜，宽度＞320㎜，厚度＞75㎜的板状构件；步骤三、卸掉模具，取出锻打成型的板状构件，置入1000‑1200℃的回火炉中，保持1‑3小时，稳定细晶组织；步骤四、对板状构件进行机械加工，后经清洗，干燥，制得超大型细晶钼平面靶。