一种微波调制相位可控的多电子注冷阴极电子枪

摘要

该发明属于可集成电真空辐射源器件配套用冷阴极电子枪，包括：电子枪壳体及其底座，上、下电极板及设有与冷阴极的个数相同通孔的微波输入层，微波输入层中各通孔分别与上、下电极板一并组成相应个数的互作用腔，各冷阴极分别嵌于相应互作用腔底部的下电极板上，在正对每个互作用腔的上电极板区域内均开设了一组各孔尺寸都小于微波波长的阵列式电子注输出孔。该发明具有注波互作用空间小，可按要求馈入不同频率的微波来调制多个冷阴极发射电流、以产生不同调制频率及强度的多个电子注，而且每个电子注微波调制相位可控，可为集成微型电真空辐射源器件提供多个电子注源，且输出功率大，有效扩大了应用范围等特点。

主权项

一种微波调制相位可控的多电子注冷阴极电子枪，包括电子枪壳体及其底座，上、下电极板及冷阴极，其特征在于在上、下电极板之间还设有一微波输入层，在微波输入层中按所设冷阴极的个数开设与其个数相同的通孔，各通孔分别与上、下电极板一并组成相应个数的互作用腔，各冷阴极分别嵌于相应互作用腔底部的下电极板上，在正对每个互作用腔和冷阴极的上电极板区域内均开设一组各孔尺寸都小于微波波长的阵列式孔作为电子注输出孔；上电极板及嵌有多个冷阴极的下电极板分别与微波输入层的上、下表面固定，组成冷阴极电子枪枪芯，该枪芯穿过电子枪壳体并将各组电子注输出孔向上置于壳体内腔后，枪芯下电极板底面与底座密封固定成一体、枪芯两侧面及上电极板顶面与电子枪壳体密封固定成一体。