一种OLED蒸镀用掩模板组件

摘要

本发明提供了一种OLED蒸镀用掩模板组件，其包括掩模框架及设置在所述掩模框架上的至少一组掩模单元，所述掩模单元由掩模层、掩模支撑层两层结构构成，通过合理设置掩模层、掩模支撑层的两层结构，本发明提供的掩模板组件能够具有较高的位置精度，能够较好的满足后续OLED基板表面有机材料的沉积，有效提高OLED产品的质量。

主权项

一种OLED蒸镀用掩模板组件，其包括掩模框架及设置在所述掩模框架上的至少一组掩模单元，其特征在于，所述掩模单元由掩模支撑层及设置在所述掩模支撑层上方的掩模层构成，所述掩模层贴合的设置在掩模支撑层上表面，所述掩模单元通过掩模支撑层固定在所述掩模框架上；所述掩模层上设置有若干掩模开口区，所述掩模开口区由通孔阵列形成；所述掩模支撑层上设置有连续小开口构成的阵列孔图形区；所述掩模支撑层上阵列孔图形区的覆盖范围能够完全覆盖所述掩模层上的掩模开口区，所述掩模层上的掩模开口区与所述掩模支撑层上阵列孔图形区重合部分构成掩模板蒸镀区；在所述掩模板蒸镀区内部，构成所述掩模层掩模开口区的通孔与构成所述掩模支撑层阵列孔图形区的小开口共同形成蒸镀通道。