基板支撑用支撑单元

摘要

公开了一种基板支撑用支撑单元，其防止在基板处理过程中基板因弯曲而发生变形的现象。本发明的基板支撑用支撑单元，在基板处理过程中，由于基板的整体面被多个支撑销均匀地支撑，因此不会发生基板因自重而弯曲变形的现象。由此，能够提高平板显示器的可靠性。

主权项

一种基板支撑用支撑单元，其包括：一对支撑横杆，其相互平行地配置；支撑托架，其分别支撑所述支撑横杆的一端和另一端，并且结合于对象物，以使所述支撑横杆位于所述对象物上；晶舟，其具备：一对外侧主杆，其隔着间隔配置，且一端分别被某一所述支撑横杆支撑，另一端分别被另一所述支撑横杆支撑；一对外侧支撑杆，其直径小于所述外侧主杆的直径，并以层叠方式分别与所述外侧主杆结合，用于支撑基板的边缘部；多个连接杆，相互连接所述一对外侧主杆；多个支撑销，形成在所述连接杆上用以支撑所述基板。