厚窗口层LED制造

摘要

本发明公开了一种LED管芯以及用于接合、切割、和形成LED管芯的方法。在实例中，该方法包括形成LED晶圆，其中，LED晶圆包括衬底和设置在衬底上方的多个外延层，其中，将多个外延层配置成形成LED；将LED晶圆接合至基板以形成LED对；以及在接合之后，切割LED对，其中，切割包括：同时切割LED晶圆和基板，从而形成LED管芯。本发明还提供了一种厚窗口层LED制造。

主权项

一种接合和切割发光二极管(LED)晶圆的方法，包括：提供LED晶圆，其中，所述LED晶圆包括：衬底和设置在所述衬底上方的多个外延层，其中，所述多个外延层配置成LED；翻转工艺，在接合之前，将所述LED晶圆翻转为正面朝下；将所述LED晶圆正面接合至基板以形成LED对；以及在接合之后，切割所述LED对，其中，所述切割包括同时切割所述LED晶圆和所述基板，从而形成LED管芯，并且其中，所述同时切割包括：从所述LED对的第一侧，通过隐形切割(SD)工艺，在所述衬底内产生裂缝；以及对准所述衬底裂缝的位置并从与所述第一侧相对的所述LED对的第二侧切割所述基板，其中，切割所述基板的工艺不同于所述隐形切割工艺。