发明名称 |
微机械固支梁式四状态可重构微波带通滤波器及制备方法 |
摘要 |
本发明的微机械固支梁式四状态可重构微波带通滤波器,在砷化镓衬底(20)上设有水平放置的CPW(1)、一个平面螺旋电感(2)、两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容(3)和第二MIM电容(4)、两个串联连接到CPW信号线的第三MIM电容(5)和第四MIM电容(6)、四个由引线连接的第五MIM电容(7)、第六MIM电容(8)、第七MIM电容(9)和第八MIM电容(10)、第一MEMS固支梁(14)和第二MEMS固支梁(15);当MEMS固支梁与其下方的两条引线(12)的凸点(13)相接触时,可使在CPW信号线前后两侧的由引线连接的MIM电容与CPW地线相连接,则改变了在平面螺旋电感的左右两侧的并联MIM电容的大小,实现了具有四状态的中心频率和带宽的变化。 |
申请公布号 |
CN103795365B |
申请公布日期 |
2016.06.29 |
申请号 |
CN201410052170.4 |
申请日期 |
2014.02.17 |
申请人 |
东南大学 |
发明人 |
张志强;廖小平 |
分类号 |
H03H7/12(2006.01)I;H01P1/20(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I |
主分类号 |
H03H7/12(2006.01)I |
代理机构 |
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 |
代理人 |
柏尚春 |
主权项 |
一种微机械固支梁式四状态可重构微波带通滤波器,其特征在于:该滤波器制作在砷化镓衬底(20)上,在砷化镓衬底(20)上设有CPW(1)、一个平面螺旋电感(2)、两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容(3)和第二MIM电容(4)、两个串联连接到CPW信号线的第三MIM电容(5)和第四MIM电容(6)、四个由引线连接的第五MIM电容(7)、第六MIM电容(8)、第七MIM电容(9)和第八MIM电容(10)、第一MEMS固支梁(14)和第二MEMS固支梁(15);CPW(1)的中间为CPW信号线,CPW信号线的两侧为CPW地线;平面螺旋电感(2)位于该可重构微波带通滤波器的中间部位,平面螺旋电感的线圈(2‑2)架空于砷化镓衬底(20)之上而下层通道(2‑1)位于砷化镓衬底(20)上,在平面螺旋电感的线圈(2‑2)下方的下层通道(2‑1)上覆盖Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>绝缘介质层(11);两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容(3)和第二MIM电容(4)对称位于在平面螺旋电感(2)的左右两侧;两个串联连接到CPW信号线的第三MIM电容(5)和第四MIM电容(6)同样对称位于平面螺旋电感(2)的左右两侧;四个由引线(12)连接的第五MIM电容(7)、第六MIM电容(8)、第七MIM电容(9)和第八MIM电容(10)不但对称放置在平面螺旋电感(2)的左右两侧,而且位于在两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容(3)和第二MIM电容(4)之间;所有MIM电容的上下极板均通过Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>绝缘介质层(11)隔开;第一MEMS固支梁(14)和第二MEMS固支梁(15)分别放置在平面螺旋电感(2)的后侧和前侧;从而通过一个平面螺旋电感(2)、两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容(3)和第二MIM电容(4)以及两个串联连接到CPW信号线的第三MIM电容(5)和第四MIM电容(6)构成了π型的微波带通滤波器,而利用该π型的微波带通滤波器以及第一MEMS固支梁(14)和第二MEMS固支梁(15)分别控制四个由引线连接的第五MIM电容(7)、第六MIM电容(8)、第七MIM电容(9)和第八MIM电容(10),实现了该可重构微波带通滤波器的四状态的中心频率和带宽的改变。 |
地址 |
210096 江苏省南京市四牌楼2号 |