发明名称 |
气化用容器、气化器和气化装置 |
摘要 |
本发明提供气化用容器、气化器和气化装置,在维持紧凑性的同时,能稳定且大流量地输出材料气体。气化用容器(11)具有气化室(11a),使导入所述气化室(11a)的液体材料气化并将生成的材料气体导出,所述气化用容器包括分隔壁(6),所述分隔壁(6)将所述气化室(11a)的下方空间分隔成最初导入液体材料的第一下方空间(11e)和导入从所述第一下方空间(11e)溢出的液体材料的第二下方空间(11f)。 |
申请公布号 |
CN105716224A |
申请公布日期 |
2016.06.29 |
申请号 |
CN201510802057.8 |
申请日期 |
2015.11.19 |
申请人 |
株式会社堀场STEC |
发明人 |
田口明広;矢田秀贵 |
分类号 |
F24H1/00(2006.01)I;F24H9/20(2006.01)I;F22B33/00(2006.01)I;F22B35/00(2006.01)I |
主分类号 |
F24H1/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 |
代理人 |
鹿屹;李雪春 |
主权项 |
一种气化用容器,具有气化室,使导入所述气化室的液体材料气化并将生成的材料气体导出,所述气化用容器的特征在于,包括分隔壁,所述分隔壁将所述气化室的下方空间分隔成最初导入液体材料的第一下方空间和导入从所述第一下方空间溢出的液体材料的第二下方空间。 |
地址 |
日本京都府 |