| 发明名称 | 石英玻璃微缺陷检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种石英玻璃微缺陷检测方法，包括如下步骤：将石英玻璃样品两通光面进行精密抛光；将已抛光好的石英玻璃样品用酸溶液进行腐蚀；石英玻璃样品腐蚀0.5～2小时取出并用去离子水清洗干净，利用显微镜观察检测石英玻璃样品；按上述步骤对石英玻璃样品重复腐蚀和观察，直至观察到石英玻璃样品中的缺陷或至石英玻璃样品的厚度剩余20‑30μm仍未观察到缺陷。本发明方法可检测石英玻璃中的微缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN105717137A | 申请公布日期 | 2016.06.29 |
| 申请号 | CN201610055734.9 | 申请日期 | 2016.01.27 |
| 申请人 | 中国建筑材料科学研究总院 | 发明人 | 聂兰舰;向在奎;杜秀蓉;张晓强;王蕾;王慧;刘飞翔;贾亚男;符博 |
| 分类号 | G01N21/958(2006.01)I;G01N1/32(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/958(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人 | 王伟锋;刘铁生 |
| 主权项 | 石英玻璃微缺陷检测方法，其特征在于，包括如下步骤：将石英玻璃样品两通光面进行精密抛光；将已抛光好的石英玻璃样品用酸溶液进行腐蚀；石英玻璃样品腐蚀0.5～2小时取出并用去离子水清洗干净，利用显微镜观察检测石英玻璃样品；按上述步骤对石英玻璃样品重复腐蚀和观察，直至观察到石英玻璃样品中的缺陷或至石英玻璃样品的厚度剩余20‑30μm仍未观察到缺陷。 | ||
| 地址 | 100024 北京市朝阳区管庄东里1号 | ||