发明名称 在复合玻璃基板上制造视频显示板用多色LED的方法
摘要 本发明涉及一种在复合玻璃基板上制造视频显示板用多色LED的方法,包括:在复合玻璃基板上制备第一掩蔽层,第一掩蔽层用于掩蔽除第一颜色LED生长区域之外的其它区域;在第一颜色LED生长区和第一掩蔽层上淀积第一颜色外延层,形成第一颜色LED;去除第一掩蔽层和第一掩蔽层上的第一颜色外延层;制备第二掩蔽层,第二掩蔽层用于掩蔽除第二颜色LED生长区域之外的其它区域;在第二颜色LED生长区和第二掩蔽层上淀积第二颜色外延层,形成第二颜色LED;去除第二掩蔽层和第二掩蔽层上的第二颜色外延层;对复合玻璃基板的表面进行研磨,清洗和电学测试。
申请公布号 CN105720136A 申请公布日期 2016.06.29
申请号 CN201410724871.8 申请日期 2014.12.02
申请人 严敏;程君;周鸣波 发明人 严敏;程君;周鸣波
分类号 H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/00(2010.01)I
代理机构 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 代理人 陈惠莲
主权项 一种在复合玻璃基板上制造视频显示板用多色LED的方法,其特征在于,所述方法包括:在复合玻璃基板上制备第一掩蔽层,所述第一掩蔽层用于掩蔽除第一颜色LED生长区域之外的其它区域;在所述第一颜色LED生长区和第一掩蔽层上淀积第一颜色外延层,形成第一颜色LED;所述第一颜色外延层包括第一颜色N型外延层和第一颜色P型外延层;去除所述第一掩蔽层和所述第一掩蔽层上的第一颜色外延层;制备第二掩蔽层,所述第二掩蔽层用于掩蔽除第二颜色LED生长区域之外的其它区域;在所述第二颜色LED生长区和第二掩蔽层上淀积第二颜色外延层,形成第二颜色LED;所述第二颜色外延层包括第二颜色N型外延层和第二颜色P型外延层;去除所述第二掩蔽层和所述第二掩蔽层上的第二颜色外延层;对所述复合玻璃基板的表面进行研磨,清洗和电学测试。
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