发明名称 |
在复合玻璃基板上制造视频显示板用多色LED的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种在复合玻璃基板上制造视频显示板用多色LED的方法,包括:在复合玻璃基板上制备第一掩蔽层,第一掩蔽层用于掩蔽除第一颜色LED生长区域之外的其它区域;在第一颜色LED生长区和第一掩蔽层上淀积第一颜色外延层,形成第一颜色LED;去除第一掩蔽层和第一掩蔽层上的第一颜色外延层;制备第二掩蔽层,第二掩蔽层用于掩蔽除第二颜色LED生长区域之外的其它区域;在第二颜色LED生长区和第二掩蔽层上淀积第二颜色外延层,形成第二颜色LED;去除第二掩蔽层和第二掩蔽层上的第二颜色外延层;对复合玻璃基板的表面进行研磨,清洗和电学测试。 |
申请公布号 |
CN105720136A |
申请公布日期 |
2016.06.29 |
申请号 |
CN201410724871.8 |
申请日期 |
2014.12.02 |
申请人 |
严敏;程君;周鸣波 |
发明人 |
严敏;程君;周鸣波 |
分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
代理机构 |
北京亿腾知识产权代理事务所 11309 |
代理人 |
陈惠莲 |
主权项 |
一种在复合玻璃基板上制造视频显示板用多色LED的方法,其特征在于,所述方法包括:在复合玻璃基板上制备第一掩蔽层,所述第一掩蔽层用于掩蔽除第一颜色LED生长区域之外的其它区域;在所述第一颜色LED生长区和第一掩蔽层上淀积第一颜色外延层,形成第一颜色LED;所述第一颜色外延层包括第一颜色N型外延层和第一颜色P型外延层;去除所述第一掩蔽层和所述第一掩蔽层上的第一颜色外延层;制备第二掩蔽层,所述第二掩蔽层用于掩蔽除第二颜色LED生长区域之外的其它区域;在所述第二颜色LED生长区和第二掩蔽层上淀积第二颜色外延层,形成第二颜色LED;所述第二颜色外延层包括第二颜色N型外延层和第二颜色P型外延层;去除所述第二掩蔽层和所述第二掩蔽层上的第二颜色外延层;对所述复合玻璃基板的表面进行研磨,清洗和电学测试。 |
地址 |
100097 北京市海淀区远大路远大园一区四号楼三单元B1F室 |