| 摘要 |
[과제] 경화속도가 증대하고, 15μm 이상의 막두께여도 기재의 이면으로부터의 노광으로 도막 표면을 충분히 경화시키는 것이 가능해져, 미세한 투명구조체를 형성할 수 있는 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제공하는 것에 있다. [해결수단] 하기 (A)성분, (B)성분, (C-1)성분, (C-2)성분 및 (D)성분을 함유하는 감광성 수지 조성물. (A)성분: 알칼리 가용성 공중합체, (B)성분: 아크릴레이트기, 메타크릴레이트기, 비닐기 및 알릴기로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 중합성기를 2개 이상 갖는 화합물, (C-1)성분: 옥심에스테르기를 가지며, 365nm에 있어서의 메탄올 중 또는 아세토니트릴 중의 흡광계수가 5,000ml/g·cm 이상인 광개시제, (C-2)성분: 365nm에 있어서의 메탄올 중 또는 아세토니트릴 중의 흡광계수가 100ml/g·cm 이하인 광개시제, (D)성분: 용제. |
