用于在工件上生成图案的设备

摘要

一种被配置为拾取和在工件上放置至少一个芯片的拾取和放置工具包括安装头。该安装头包括：芯片位置确定单元，被配置为在将至少一个芯片放置在该工件上与拾起用于放置在该工件上的随后芯片之间的时间期间，对该至少一个芯片的实际位置进行测量和检测中的一者。

主权项

一种拾取和放置工具(14)，包括安装头(2)，该拾取和放置工具(14)被配置为拾取和在工件上放置芯片，该安装头包括：芯片位置确定单元(5)，该芯片位置确定单元(5)的特征在于，被配置为在将至少一个芯片放置在该工件上与拾起用于放置在该工件上的随后芯片之间的时间期间，对已经由该安装头(2)在该工件上放置的至少一个芯片的实际位置进行测量和检测中的一者，其中，该拾取和放置工具(14)被配置为直接地或者经由存储器(20)间接地，向外部单元输出指示出测量的实际位置的位置信息，并且其中，该位置信息能够在调整与要在该工件上生成的图案相关联的原始图案数据中使用。